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发表人：凤凰火

发表时间：2022/6/16 10:34:00

本栏论题：

热导式气体传感器MTCS2300用于真空溅射镀膜机真空度检测 [711]

    真空溅射镀膜是一种物理气相沉积技术，溅射工艺是一种在靶材表面用离子轰击靶材的技术。金属膜或涂层通过蒸发、溅射和随后在真空环境中冷凝而涂覆在金属、玻璃、陶瓷、半导体和塑料部件上。
    具体来讲就是把惰性气体(例如氩气)填充到真空室中，并且通过使用高电压，产生辉光放电以将离子加速到靶材料的表面。氩离子从表面轰击(溅射)靶材，沉积在靶材前面的工件上。通常，其他气体，如氮气和乙炔，需要与溅射的靶材料反应以形成化合物膜。
    溅射技术可以制备多种涂层，在装饰涂层(如Ti、Cr、Zr、碳氮化物)上有很多优势。由于制备的涂层非常光滑，这一优势使得溅射技术广泛应用于汽车市场的摩擦学领域。高能离子轰击靶，提取原子并将其转化为气体，利用磁控溅射技术，可以溅射大量的材料。
    真空镀膜机广泛应用于各行各业，如家具、餐具、装饰品、五金、电子产品、玻璃、军工产品等。所以不同领域的电镀产品需要不同的效果，所以采用不同的电镀工艺。
    真空镀膜机要想镀出好的膜，必须保证很多因素都处于正常状态，比如真空镀膜、基片与靶材的距离、蒸发温度、基片温度、残余气压等。如果某个因素出现偏差，就会影响真空镀膜机沉积薄膜的性能。
    另外，真空镀膜机为了达到理想的真空度，必须配备真空泵系统。因为镀膜机需要在高真空环境下工作，真空度的好坏直接影响镀膜的品质。所以扩散泵是真空镀膜机不可缺少的泵送部件之一，对于维护真空镀膜机泵送系统的扩散泵使机器运行在最佳状态是必不可少的。
    在真空镀膜机的运行过程中，虽然需要维护扩散泵，但是真空镀膜机是由很多部件组成的，其中一个部件的故障会直接影响真空镀膜机的正常运行。扩散泵的维护至关重要，其他部件的维护也是如此。
    真空镀膜机真空度检测可以使用真空计，如工采网代理的瑞士Neroxis 热导式气体传感器微型皮拉尼真空计压力计 - MTCS2300系列，采用镍铂电阻MEMS技术，将一个大微机械低应力氮化硅膜、两个加热用薄膜电阻以及体硅上的两个补偿用参考电阻，集成在微型封装中。
    MTCS2300https://www.isweek.cn/2936.html

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