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    复合膜磁控溅射卷绕镀膜机由于其工艺的复杂性，构造组成部分也较其他的真空镀膜设备更为精密，但主要的分类和其他真空镀膜设备差不多，包括抽气系统、真空炉体、电源、供气系统、监控系统、电控系统。
    抽气系统由5台油扩散泵为主泵，大家应该知道有些真空泵会产生返油的状况，使真空状态受到污染，国外有款油扩散泵解决了这个问题，而且体积不太，抽速快，磁控溅射卷绕镀膜机镀膜的要求比较高，所以有些厂家会选择这款真空泵来抽气。
    真空炉体内部的结构非常复杂，整个炉体以左右两边的中隔板分为上下两个部分，炉体上面两边分别有一个放料辊和一个收料辊，放料辊下方有个离子清洗器，对将要镀膜的材料进行清洗，收料辊下方有个实时监控探头，对已经完成镀膜的材料进行监控，炉体两边靠着放料辊和收料辊的炉壁上分别有一个观察孔；再下方两边分别按从外到内的方向装置着三个辊，分别为导向辊、张力辊、压力辊，在张力辊正上方紧贴着一个张力检测器；再下方就是中隔板了，中隔板下面的部分就是镀膜区域，在炉体壁上有序的分布着5个无磁不锈钢做的阴极框和磁钢，阴极框是用来安装靶材的；在阴极与阴极之间配置着隔离槽，隔离槽顶端有个定档板，周围的前后左右分别安装着阳极板，阳极板前端有布气管；中隔板、阴极靶、隔离槽围绕着的就是一个利用氟里昂进行冷却的大冷棍。
    电源是使用直流电源两套，脉冲电源四个，供气系统就是之前提到布气管，可以均匀地为靶供气，监控系统就是之前提到的实时监控探头，是一种红外线探头，对膜层厚度进行实时监控，电控系统是PC+PLC，实行自动操作。
    出自汇成真空镀膜设备http://www.suichenggd.cn/

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