TMF必须逐台实流校准。理想的、优先选择的实流校准流体是接近使用工况条件的待测流体，这样可获得最小的仪表测量不确定性。但是这种条件常不具备，退而用替代流体校准仪表。气体常用空气或氮气作必要的换算;液体常用水替代流体作实流校准。
管段式TMF和插人式TMF两类仪表的校准方法不同。管段式TMF用与其他流量仪表相同的方法作实流校准，即在常规的流量标准装置上实施，可参阅相关书籍。但对于微小气体流量常规的钟罩式气体流量标准装置，容积相对过大而无法进行校准，需用特殊流量标准装置。例如，皂膜式气体流量标准装置的最小气筒容积为10mL，最小分度为lmL，设校准时间120s，可校准最小流量为0.5mL/min;(美)Brooks公司以水银液封的活塞式气体标准装置，称作Vol-U-Meter气体校准器，最小气筒容积为30mL。
对于中小管径仪表气源也可用钢瓶称重作为原始标准的方法进行校准，求取不同气体(如氢气、氨气、甲烷、Freon等)的转换系数，参考文献阐述氨气、氯气利用钢瓶称重校准的实例。
插入式TMF的实流校准比较复杂，有些可在实验室校准，有些因实验室没有条件制备待测气体，或者管道过大，无法在实验室作实流校准，则必须在现场校验。
实验室校准点插人式TMF有流速计法和流量计法两种方法。气体TMF的流速计法实流校准在低速风洞上进行，流量计法则在通用的流量标准装置上进行。
由于无大型流量标准装置和无法制备待测气体，大管径应用多根检测杆的插入式TMF只能利用现场条件实施实流校准。常采用的校准方法有示踪法和稀释法，国际标准ISO4053一(l，4)规定了实施方法和要求。 上述校准插人式TMF的各种方法。
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