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    在镀膜工艺一定周期都要对真空镀膜机做维护与保养，包括给真空泵换油。真空泵换油方法分放油、清洗和加油：
    将泵从系统上拆下，用干净的方盘接在放油孔下。旋下注油塞和放油塞，放出污油。断续启动电机4~6 ，使各真空小室内的油全部排出。
    然后从各抽气管加入干净的真空泵油200~300CC 。断续启动电动机，再次清洗各真空室。这样经2~3 次重复清洗，放光清洗用油，旋上放油塞。
    从注油塞处加入干净的真空泵油到视窗口的中心位置，旋紧注油塞不使漏气。换油最好在油温升高后进行。对泵严禁用煤油、汽油、酒精等作非拆的清洗。平时也要注意保护进气口，检查滤网，防止灰尘、杂质进入泵内，弄污泵油，损坏真空室。
    真空泵换油后产生问题排除方法：
    1、泵出气口有喷油现象：油加的过多，减少油的加入量；进气口长时间抽大气，应加以避免；
    2、泵出气口有雾现象：检查进气口及其他部分是否有漏气真空度偏低：泵腔内及油中是否混入其他轻质液体，新换油后应适当运转一段时间检查泵各密封部分是否有漏气现象校对好检测仪表扩散泵、油增压泵换油注意事项：选用品质好的油品；换油时应全部倒出旧油；用溶剂汽油或专用清洗剂清洗泵内全部零件，并用丙酮或乙谜擦干，放在烤箱中烘干，也可用吹风机吹干；按原来部位安装好泵内外零件，喷嘴应在泵腔中部；操作者应手戴白纱脱脂手套装配，按要求量倒入扩散泵油或增压泵油；
    扩散泵使用中产生的问题及排除方法：
    真空度偏低：检查前级真空；检查冷却水是否畅通，水温是否偏高；冷却水管有没有部分堵塞；电炉丝功率偏大或偏小；供电电压是否偏低；各喷油嘴装配不正确；规管测量不准确；仪表或导线不正常；真空系统是否漏气；工作室经长期使用残留镀层是否太厚；由操作不当引起的油品很快氧化，即变红或变黑：检查工作是是否忘记打开冷水；真空系统存在较严重漏气；扩散泵在工作时大气进入了扩散泵内；工作室内有可挥发气体或灰尘进入泵腔内。
   
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