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    高真空油扩散泵对于整套真空镀膜机来说是组成真空镀膜机的重要核心部份，油扩散泵的好坏直接影响到真空室的抽速时间，也就是说工件的生产周期长短，生产效率都会直接受到影响，所以，油扩散泵的保养一定要做到位。
    下面我为大家介绍一下应该如何去保养：
    （一）油扩散泵的结构
    1、由三大部件组成：
    A）外壳：由A3板焊接成型，泵内抛光、电镀。外壁由紫铜管焊锡环绕组成冷却系统。
    B）泵芯：由三级喷嘴组成，每组喷联接一套导流管，每组喷嘴与导流管之间设置一定间隙，间隙大小出厂前已设置好（用户一般不宜随意改动），前置管内配一串挡油叶。
    C）电炉盘：镍铬丝、耐温瓦盘、铁外壳、保温棉组成。
    （二）技术规范及注意事项（以K-600T型为例）：
    1、加注扩散泵油量：6.5~7公升；
    2、电炉加热功率9KW；
    3、冷却水：进水应设置在泵上方，使用时进水压力保持在1.5~2kg
    4、需设置维持泵，推荐用2X-8型真空泵，加热时，泵真空度保持在5x10帕左右
    5、配置在真空镀膜机上，需在泵前置管配置150升/秒以上抽率的机械真空泵（如ZJ-150罗茨泵）才能发挥其最大抽速；
    6、累计使用2000小时，应考虑更换新扩散泵油，换油时，应卸下泵芯，倒掉旧油再用汽油清洗干净油污，再用洗衣粉加水彻底清洗干净原腔泵芯，吹干后依次装好泵芯电炉通电，升温前应用启动维持泵抽气，待真空度达10帕后才加温，以免安装时有漏气现象，以至升温后，扩散泵被烧坏，扩散泵不能正常工作。
   
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