电容传感器广泛应用于角度、位移、液位等参数的的精确测量，电容传感器具有高灵敏度和高精度等优点，但这些优点都是建立旨在传感器的设计正确、选材正确及加工工艺是否精细有关，但也要注意以下影响电容式传感器精度的因素。
1.1 温度对结构尺寸的影响
环境温度的改变将引起电容式传感器各组成部分的集合尺寸和相互位置的变化，从而导致电容式传感器产生温度附加误差，这个误差尤其在检测间隙变化的电容式传感器中更为严重因为它的初始间隙很小。
1.2 温度对介电常数的影响
电容式传感器的电容值与介质的介电常数成正比，因此对于介电常数的温度系数不为零的传感器，温度的变化必然会引起传感器电容值的改变，从而造成温度附加误差。
1.3 漏电阻的影响
电容式传感器的容抗都很高，特别是当激励频率较低时。当两极间总的漏电阻与容抗相近时，就必须考虑分路作用对整个系统总灵敏度的影响，它将使传感器的灵敏度下降。
1.4 边缘效应与寄生参量的影响
边缘效应使设计计算复杂化、产生非线性及降低传感器的灵敏度。消除和减小的方法是在结构上增设防护电极，防护电极必须与备防护电极取相同的电位，尽量使它们同为地电位。
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