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    1、先通过石英砂过滤颗粒较粗的杂质。
   
    　　2、然后高压通过反渗透膜。
   
    　　3、最后一般还要经过紫外杀菌以去除水中的微生物。
   
    　　4、假如此时电阻率还没有达到要求的话，可以再进行一次离子交换过程电阻率可达到18兆。
   
    　　相对而言，蒸馏水只是先气化再冷凝，其纯度如电阻率一般不如纯度高的去离子水，半导体工业中用的大多数是高纯度的去离子水。
   
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