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有客户反映,在真空镀膜过程中,真空镀膜机会发生抽真空时间变长,或者达不到要求的真空极限,出现这类故障的常见原因及解决办法: 1、蒸发室有很多粉尘(应清冼) 7、各引入座螺钉、螺母有无松动现象(重新压紧) 2、扩散泵很久未换油(应清冼换油) 8、高低预阀是否密封可靠(注油) 3、前级泵反压强太大机械泵真空度太低(应清冼换油) 6、蒸发室各引入水路密封处是否有胶圈损坏(更换胶圈) 4、各动密封胶圈损坏(更换胶圈) 5、由于蒸发室长期温度过高使其各密封胶圈老化(更换胶圈) 东莞市汇成真空科技有限公司 专业真空设备制造商http://www.suichenggd.cn/
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