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LF-YC差压式气体质量流量控制器简要描述:气体质量流量控制器通过测量层流元件的差压、压力、温度来计算流量。 将计算流量值与设定流量值进行比较,采用 PID闭环控制调节阀门,使流过通道的流量与设定的流量相等。具有固有的线性,重复性好,精度高,无需预热,温漂小等特点。为模拟和数字兼容型,可通过模拟型二次表或PLC进行设定和显示瞬时流量,也可以通过RS485接口直接与计算机进行通讯。
LF-YC差压式气体质量流量控制器产品特点:
固有的线性,精度高
稳定性好,重复性好
可选模拟电路、数字电路
响应速度快,无需预热
温漂小
产品用途:
广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
技术指标
产品型号 LF420-YC LF485-YC
量程范围 5SCCM-300SLM
测控范围 控制器50:1 流量计100:1
准 确 度 ±1.0% F.S
线 性 ±0.5% F.S
重复精度 ±0.2% F.S
响应时间 100ms 100ms
数 字 量 RS485 MODBUS协议
模 拟 量 DC 0-5V,4-20mA(负载< 500Ω)可选
供 电 DC +15V/+24V可选,控制器< 200mA,流量计< 50mA
工作温度 0-50℃
工作压力 工作压差0.1-0.5MPa 工作压降 < 0.01MPa
耐压 1MPa
电气连接 DB15
漏 率 1×10-8SCC/s He
底座材质 316L不锈钢或者铝合金
密封材料 氟橡胶,丁晴橡胶,氯丁橡胶
气路接头 标配Swagelok ¢6
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