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简要描述：用于对小流量气体的质量流量进行精密的测量和控制，具有精度高，稳定性好，模拟电路，可靠性高，安装简单，操作方便。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
产品特点：
精度高
稳定性好
模拟电路
响应速度快
产品用途：
广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
技术参数：
产品型号 LF420-SC LF420-SM
满量程范围 SCCM 0～5，10，20，30，50，100，200，500
SLM 0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30
量程比 控制器50:1 流量计100:1
精度 ±1.0%F.S
线性 ±0.5%F.S
重复性 ±0.2%F.S
阀门类型 常闭阀
响应时间 ≤1S-3S
工作压差 0.1...0.5Mpa
最大耐压 3MPa
工作环境温度 5...45℃
泄漏率 1×10-8Pa.m3/s
通信信号 0-5V / 4-20MA
供电方式 24VDC（250mA）
密封材料 丁晴橡胶 氟橡胶（可选）
接头尺寸 3mm 6mm 8mm 10mm 1/8” 1/4” 3/8”
电器接头 DB9针
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